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半导体生产部件

  刻蚀机是晶圆生产过程中极为重要的一个环节,刻蚀机的腔室(chamber)在刻蚀过程中受等离子体的侵蚀而失效,需要定期进行重新喷涂。联合涂层技术公司与国内知名研究院共同研发的刻蚀机腔室的喷涂技术,已经成功通过了有关部门的鉴定,效果完全达到了用户以往在日本喷涂所达到的全部技术指标。


                                                                           

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